リアクティブスパッタリング

リアクティブスパッタリング

リアクティブスパッタリングは、メタルスパッタリングとプラズマガス反応を融合した PVD プロセスコーティング方法です。MicroDyn® と呼ばれるコーティング装置で、優れた高温安定性と高精度のコーティングを提供します。

基板材質とコーティング材料

Coating Materials
Silicon oxide
Niobium oxide
Zirconium oxide
Titanium oxide
Tantalum oxide
Hafnium oxide
Iron and iron oxide
Substrates
Technical glasses
Optical glasses
Ceramic
Plastics (PC)
Aluminum
 
 

MicroDyn® Process の特徴

  • 様々なコーティング材料を使用することが可能
  • 耐熱温度: 1,200℃
  • 反射率 95% ~98% を実現 
  • 反射率/透過率曲線は ± 1nm で制御可能
  • 低バラツキ率
  • 温度変化無し
  • 高精度なコーティング設計が可能
  • マスキング及びパターンコーティングが可能

用途

  • カラーフィルター
  • 非反射膜コーティング
  • UV コーティング
  • ミラー
  • ビームスプリッタ